■特徴

・最高グレードのクリーンルームで製造
・TEM00モード出力(M2<1.2~1.5)
・長期安定動作
・ビーム径：0.7 mm

■用途

・ITOフィルム加工
・ガラス、セラミック加工
・ポリマー加工
・微細加工
・ウエハー加工
・科学研究

■仕様 DPSSレーザとは
　パラメータ 単位 Pulse-355-3 Pulse-355-5 Super Pulse-355-10 Super Pulse-355-15 Super Pulse-355-20
　波長 nm 355
　繰り返し周波数 kHz 10-150（Options:single shot to 200kHz） 50-150（Options:single shot to 200kHz）
　パルス幅　＠30 kHz ns ≤16 ≤18 ≤15
　平均パワー @30 kHz W > 3  > 5  > 10  > 15  > 20 
　平均パワー安定性 % < ±3  over 24hours
　出力ビーム – TEM00 (M2 <1.2)
 TEM00 (M2 <1.3)
　ビーム広がり角 mrad < 2
　1/e2ビーム径 mm 0.7
　ビーム真円度 % > 90
　ポインティング安定性 µrad < 50
　偏光方向 – 水平
　偏光比 – 100 : 1
　冷却方式 – 水冷/空冷
 水冷
　メーカ INNGU LASER

■加工例